多弧加溅射复合多用镀膜机
1 SA1315-A8M2型离子镀膜机是一台多弧+溅射复合离子镀膜设备 ,可在不锈钢 、碳钢 、硬质合金、玻璃 、陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆 TiN 、ZrN、ZrNC、CrN、TiNC及其它复合膜层 ,从而提高制品表面的耐磨性能和抗蚀性能 ,并提高产品的高技术含量。
2 该机为特别开发的磁控+溅射复合镀膜机。
技术指标
镀膜室尺寸:Φ800 mm X H1200 mm :Φ1200 mm XH 900 mm :Φ1300 mm X H1500 mm
极限真空度:优于<1.3×10-3pa(冷态包括转架)
排空时间:从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min
等离子体加速器离化源数:8个
距形溅射靶2个
采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧
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内置加速电场
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恒定高斯的水平磁场
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直接水冷(或间接水冷)
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自动引弧
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快速续弧
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采用自稳弧电源
偏压电源:20 KVA。采用我公司独有的专用大功率偏压电源和溅射靶专用电源 ,具有特殊保护电路和快速灭弧装置。
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20KW配8弧设备使用,每弧分配功率高达3KW。装满炉,开全靶,1 KV 齐轰轻松自如
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特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光
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数字逻辑控制,准确无误
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调制电压的主弧轰击,场能强大
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辅助的快速恢复功能,减少活化时间
工件架转速
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变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向
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负重200KG
供气系统:两路
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自动跟随真空室压强,自动调节进气量
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每路气均有质量流量显示
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无需混气罐,调节无滞后
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预设比例,总量自动或手动均可
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预设强置换功能,生成起步气冲
加热器输出功率0-18KW
压强控制:节流阀;自动压强调节
设备总功率:110KVA,380V,三相四线制
温度测量方式:热电偶
设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制
设备总重:3.5t
设备占地面积:5m X 8m
冷却水流量:8t/hr(进水温度25摄氏度以下,压力2KG/CM 2)