手机壳镀膜机
用途及使用范围
1 SA1812-M8 型镀膜机是一台中频磁控溅射镀膜设备 , 可在不锈钢 ,碳钢 ,硬质合金 ,玻璃 ,陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆 TiN ,ZrN,ZrNC,CrN,TiNC及其它复合膜层 ,从而提高制品表面的耐磨性能和抗蚀性能 ,并提高产品的技术含量。
2 该机为特别开发的手机部件专用镀膜机。
技术指标
镀膜室尺寸:Φ1800 mm X H1200 mm ; Φ1500 mm X 1200 mm
极限真空度:优于<1.3×10-3 pa(冷态包括转架)
排空时间:从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min
柱靶:8个。
距形平面溅射靶和圆柱形旋转溅射靶:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空工作平稳
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内置加速电场
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恒定高斯的水平磁场
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直接水冷
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专用电源
溅射电源采用我公司独有的手机镀膜专用溅射电源,具有特殊保护电路装置
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特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光
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数字逻辑控制,准确无误
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调制电压的场能强大
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辅助的快速恢复功能,减少活化时间
工件架负重250KG
供气系统:自动质量流量控制
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自动跟随真空室压强,自动调节进气量
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每路气均有质量流量显示
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无需混气罐,调节无滞后
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预设比例,总量自动或手动均可
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预设强置换功能,生成起步气冲
加热器输出功率0-21KW
自动压强调节
设备总功率:140KVA ,380V,三相四线制
温度测量方式:热电偶
设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制
设备总重:4.5t
设备占地面积:6m X 8m
冷却水流量: 2t/hr (进水温度25摄氏度以下,压力2KG/CM 2)